二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 5Vz #9302022 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 5Vz是用於在半導體基板上陣列集成電路的最先進的光刻設備。它與5V、0.25微米的設計完全兼容，為最高的產量和性能水平而設計。其先進的功能包括優化的三清除對齊系統、雙模網格對齊器和集成的防撞單元。三清除對齊機使對齊標記能夠在幾微米內精確配準。這確保了精度，並最大限度地減少了由於目標基板的位移而造成的陣列精度損失。除了精細的對齊精度外，雙模網格對齊器從三個維度提供了更高的對齊精度。此特征可確保根據預定的設計繪圖精確處理整個陣列的位置。該工具還具有集成的防撞資產。它通過使用許多光學傳感器來防止掃描級和半導體基板之間的任何接觸。此外，如果檢測到兩個系統之間可能的接觸，它將停止操作，從而有效地防止對基板的損害。Mark 5Vz是市場上最先進的光刻膠型號，提供了最高的速度和精度。其優化的設計消除了誤差，降低了復雜度，提高了收益率。其防撞設備有助於確保正確生成圖樣，防止對基板造成代價高昂的損壞。這使得它成為現代高精度集成電路生產的理想選擇。