二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #293656061 待售

TEL Clean Track Mark 7和Mark 8系統是用於半導體集成電路加工和制造的先進光阻系統。這些系統提供光致抗蝕劑處理，涵蓋了顯微光刻和曝光後蝕刻過程。在微光刻水平上，光被用於生產半導體器件。該光指向光刻膠層以創建遮罩圖案。設備使用先進的光學元件和軟件，為高性能光刻精確提供必要的分辨率和光強度。在曝光後蝕刻級別，被曝光的光刻膠層用形成圖樣的蝕刻劑處理。然後使用先進的設備，如直流氧等離子體和O2反應性蝕刻器，很容易除去光致抗蝕劑。Clean Track Mark 7和Mark 8系統旨在提供高精度和低排泄率。來自TOKYO ELECTRON的最新單元Clean Track Mark 8系統的分辨率比Mark 7更高。它還采用了機載微粒除霧器等創新技術進行超潔凈操作。這有助於防止機器中組件損壞和退化,從而提高吞吐量和產品質量。Clean Track Mark 7和Mark 8系統采用先進的控制和自動化工具,用於光阻處理。ProSysWafer等軟件組件使用戶能夠從任何位置遠程監視整個生產過程。此外,該工具還提供統計過程控制（SPC）選項,為光刻膠處理過程提供有價值的見解。再者，該資產設計為在生產過程中抵禦環境的變化，使其適合在清潔間、標準環境、真空等各類生產環境中使用。該型號還具有自我診斷和預防性維護警報等方便的維護功能。最後，TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7和Mark 8系統為半導體制造提供了先進的光刻膠加工選項。這些系統具有先進的光學元件、軟件和蝕刻技術,使它們能夠提供卓越的分辨率和精確度,而且排便率低。此外,該設備還具有自動化和控制工具,即使在要求苛刻的生產環境中使用也非常可靠。