二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 / Mark 8 #9158032 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7/Mark 8是一種光刻設備,擁有先進的步進技術來制造半導體器件。它是一個全自動的精密光刻系統，能夠將非常詳細的圖樣轉移到矽片上。Mark 7/8光阻裝置具有大幅面掃描儀和均勻頻率掃描等功能,可實現均勻成像、長波長曝光以及快速而優越的覆蓋。Mark 7/8具有高精度、高速度、高可靠性的清潔履帶舞臺。它配備了一個由直接驅動伺服電動機驅動的精密級，能夠在晶圓的所有表面實現均勻的成像曝光。機器有一個集成的線性編碼器，提供精確的實時位置反饋，不需要外部激光幹涉儀或編碼器。此外,先進的跟蹤控制器有助於降低背景噪聲水平和高速行駛。Mark 7/8還配備了由高分辨率鏡頭和馬達組成的光學工具,具有精確的定位控制,可精確控制曝光光束的足跡。這種能力使光刻膠資產能夠產生極高分辨率的成像，具有優越的聚焦深度和一致的圖樣。此外，光學子系統減少了雜光和眩光的數量，從而限制了競爭光敏系統的性能。Mark 7/8的設計也是為了最大限度地提高空間效率，從而最大限度地利用現有或新的車間空間。為便於滿足這一要求,光刻膠模型采用了流線型、堅固耐用且緊湊的布局,占地面積很小,經過優化,適合適當的車間。總體而言,TEL Clean Track Mark 7/Mark 8是一款可靠的光阻設備,旨在以最高的速度和準確性產生卓越的成像效果,同時又不犧牲工作區效率。該系統具有高性能光學和跟蹤伺服電機,非常適合在具有挑戰性的工作環境中創建高級半導體器件。