二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293589793 待售

ID: 293589793
晶圓大小: 8"
優質的: 1994
(2) Coater system, 8" Process: AL-CH, PIQ 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7(CTM7)是一種光刻設備,設計用於生產適合制造電路板、薄膜設計、細線光刻工藝等先進技術的高分辨率工藝窗。它是一個完全自動化的單軌系統,使用戶無需人工幹預即可快速處理各種各樣的光聚合物和環氧樹脂抗性材料。該設備具有高精度級、先進的光學元件和精密的邊緣放置工具,使其成為當今最高效、最可靠的光刻系統之一。CTM7的舞臺最多可行駛6英寸。高分辨率階段還能夠一次容納多達400個口罩,以快速準確地放置口罩。高分辨率級包括精密伺服電動機、線性軸承和高分辨率絕對編碼器,以提高高速運行時的跟蹤精度。該CTM7還配備了先進的光學元件,例如30 x 30x50 mm的大工作孔徑,以及schmeisser 10 X光學組件和高分辨率自動蒙版對準機,以確保在最終產品中精確放置蒙版和低公差。該CTM7還采用了最大層厚1.5微米、特征寬度0.1毫米的光刻鑄造工具。該CTM7是一種用途廣泛且可靠的資產,適用於以低成本生產高分辨率口罩。直觀的操作軟件提供快速、簡單的模型操作和高級功能,如集成的虛擬夾具、自動組裝移動和多種配方。該CTM7還具有快速更換工具和精確的邊緣放置工具,以實現精確的掩模放置和低汙染水平。它還能夠處理各種各樣的光聚合物、環氧樹脂和其他抗性材料,用於先進的光刻工藝。綜上所述,TEL Clean Track Mark 7是一種精密光刻設備,它利用先進的光學器件、自動掩模對準和集成軟件來實現高精度、低成本的制造。該系統的構建是為了在生產電路板、薄膜器件和其他細線光刻產品方面提供最佳效果。
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