二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293609900 待售

ID: 293609900
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
System, 8" (2) Cores (3) Spinners 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款最先進的光刻設備,設計用於將精確的化學蝕刻應用於高性能半導體器件。系統使用對光敏感的有機材料有選擇地從設備表面去除一部分材料,從而創建光刻膠圖樣供後續沈積和構造。這種高度精確和一致的技術需要使用特定的化學品、光源和基板,以及先進的機器控制系統,以達到最大程度的可靠性和性能。TEL Clean Track Mark 7單元利用真空室濺射工藝在半導體器件表面塗上特殊塗層,以提供增強的化學蝕刻響應。然後將專門的光刻膠旋轉到設備上,然後再暴露在特定光波長的光下。為了確保蝕刻過程中的均勻性,必須在整個基板表面均勻地施加這種光。在曝光過程中,光線有選擇地蝕刻掉部分光敏材料以創建所需的圖案。一旦曝光過程完成,剩余的光致抗蝕劑和濺射塗層組合就會形成一個屏障,以防止在設備的其他區域進行不必要的蝕刻,並確保清潔、均勻的沈積。整個蝕刻過程在特殊的無電浴中完成,防止潛在的放電或對結構的熱損壞。在該過程結束時,可以對設備進行陣列化,使其具有獨特的功能,例如顯示器、觸點、線路和電路設計所必需的其他功能。TOKYO ELECTRON CLEAN TRACK Mark 7的精確度和一致性使得它成為許多先進半導體制造技術的寶貴工具。此外,該機器還具有針對可能幹擾關鍵設備功能的汙染物提供卓越保護的能力,從而導致設備故障或無法正常工作。此外,CleanTrackMark 7工具具有創造復雜光刻膠圖案的能力,也是研究和原型應用的理想選擇。
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