二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293620432 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是專門為半導體器件自動化開發而設計的光刻膠處理設備。該系統利用沈積工藝在晶片表面塗上光刻塗層材料，然後將其暴露在紫外線下，形成所需的圖案。然後開發圖樣，並通過蝕刻轉移到晶片上。TEL Clean Track Mark 7單元由一個蝕刻雙級旋轉軌道和一臺真空機組成，兩者均由集成控制電子設備連接。自旋軌道有兩個腔室：上腔室用於沈積光致抗蝕劑，下腔室用於使材料暴露於紫外線。真空工具為蝕刻和去除工作表面的光刻膠提供真空壓力。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7配備了一系列先進功能，包括自動化轉移資產、虛擬基板處理機構、擴展溫度範圍控制、供氣壓力控制、冷卻控制、晶圓對準器以及集成缺陷監控模型。集成控制電子設備具有高度的可配置性,可提供廣泛的功能,如晶圓參數設置、配方管理和生成的產量監控。該設備還包括一系列先進的安全功能來保護人員，例如互鎖開關和溫度傳感器。最後,Clean Track Mark 7支持多種光刻材料,旨在提高工藝效率。該系統還具有高度的自動化和控制功能，可提高光刻加工沈積、開發和蝕刻階段的速度、精度和重復性。