二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293638993 待售
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單擊可縮放
ID: 293638993
晶圓大小: 8"
優質的: 1995
Baking system, 8"
Wafer flow: Right to left
Silicon wafer
Process-1:
FC-9801 F NEC Controller
Stage / Indexer: Open CSB / Cassette stage block
Cassette Block Robotics Arm (CRA)
Process-2:
Process Block Robotics Arm (PRA)
(6) DHP
(9) LHP
(5) CPL
Power transformer
SHINWA Temperature and Humidity Controller (THC)
UPS
Hard Disk Drive (HDD) included
(2) Missing parts:
Main arm Y-motor
Main arm Z-motor driver
1995 vintage.
TEL TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一種光刻膠系統,旨在為廣泛的應用提供卓越的成像質量、生產力和一流的工藝控制。該系統由開發/塗層模塊、成像模塊和帶有對齊器的接觸步進器組成。開發/塗層模塊旨在為開發和塗層工藝提供卓越的能力。它利用先進的無泡技術來保證最高質量。該模塊還具有薄膜正面和厚度調節控制功能,以確保適當的薄膜厚度。此外,該模塊還具有速度調整功能,以確保流程的可重復性和均勻性。成像模塊具有先進的激光幹涉掃描功能，以及全尺寸掃描表面，以確保圖像的最大分辨率。此外,成像模塊還可用於精密和批量生產運行。它還具有用於一次性圖像的手動圖像設置器。帶有對齊器的接觸步進器設計用於提供掩模的精確定位,以便對圖像進行一致的配準。步進器還具有先進的模式識別控制，以精確控制遮罩材料與表面之間的對準。此外,接觸步進器可實現極其精確的接觸對齊,從而使圖像與基板完全對齊。TEL Clean Track Mark 7是一款最先進的光刻膠系統,能夠提供卓越的成像質量、工作效率和一流的工藝控制。它的高級功能確保了在各種過程中的一致性和質量控制。此外，它的小巧尺寸和高能效設計確保它可以很容易地融入小空間。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7為廣泛的影像應用提供了理想的解決方案。
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