二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293656062 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款先進的光刻膠設備，旨在以精密、精密、清潔度創造卓越的效果。該系統采用靶向激光器、先進液相色譜（LC）和激光空化工藝的組合，在廣泛的底物上做出非常精確的圖樣。液相色譜法使用溶劑和分散劑的洗滌劑在激光空化之前對表面進行清潔和準備，為激光目標區域創造一個完美的清潔環境。激光空化過程是TEL Clean Track Mark 7單元的主要組成部分。激光光學組件對準基板，調整目標窗口以給出所需的精確圖案尺寸和形狀。聚焦的激光束隨後在基板上移動，同時在快速爆發時發出紫外線。這會在基板上的光致抗蝕劑塗層內引起反應，從而形成目標圖樣。該工藝的獨特之處在於，與其他形式的光刻不同，采用了沒有溶劑的幹燥工藝。無需管理溶劑，消除溶劑溢出汙染的可能性。由於不需要用溶劑制備或浸濕底物，底物表面潤濕不是限制，導致了精度、精度和整體結果的廣泛改進。TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7還提供了一個用於過程控制的閉環機器。它具有一臺板載計算機和一個集成的輸入/輸出工具,使用戶不僅可以訪問各種即時流程參數,還可以訪問歷史記錄的數據。允許實時反饋和調整過程,而不影響基板.Clean Track Mark 7非常適合各種行業,如大容量存儲、半導體、醫療和消費電子產品。由於其精確度、精確度和清潔度，有更高的產量、更好的產量、更高的重復性和更準確的數據。作為一個幹燥的過程，它盡量減少對環境問題的需要，降低成本。