二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746057 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 293746057
晶圓大小: 8"
(2) Coater / (2) Developer systems, 8" Wafer flow: Left to right IFB Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款用於電子電路和器件納米加工的光刻設備。該系統使用強大的紫外線光源有選擇地照亮基板材料的特定區域。這一裸露區域再塗上一層光致抗蝕劑,提供絕緣層,以保護底物的底層組件和層不受進一步暴露。然後可以使用該單元蝕刻出光致抗蝕劑層的裸露區域以創建所需的圖樣以進行進一步處理。TEL Clean Track Mark 7上的光源是一種等離子燃燒的碳化矽陶瓷燈,產生光譜波長約365nm-395nm的紫外線。這樣可以提高光刻操作的精度。光源可以從不同角度定向到基板上,從而可以對設計過程進行更大的控制。光刻機還包括一個遮罩,放置在基板和光源之間。它包含要應用於基材的圖案。遮罩是工具的組成部分,可以很容易地改變,以便在不同的基板上有不同的圖案。除了光源和蒙版,TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7光刻資產還包含一個軟件包,可用於控制模型和創建所需的圖樣。它還允許實時監測和反饋光刻操作,使過程更加可靠,不易出現缺陷和錯誤。Clean Track Mark 7是一款功能強大、精密的光刻設備,用於創建復雜的電子電路和設備。其強大的光源、控制曝光角度的能力以及快速輕松地操作掩模的能力,有助於確保納米加工過程的精確度和準確性,從而能夠創建非常小巧復雜的設計。軟件包還有助於確保錯誤和缺陷得到快速識別和消除。簡而言之,它是納米加工過程中不可或缺的工具。
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