二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746058 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款由TEL Ltd開發的光刻膠設備。該系統旨在供機器操作員用於高密度集成電路（HDIC）和高寬高比（HAR）設備的精確處理和維修。這種先進的光致抗蝕劑裝置旨在減少基板損壞，並且在用於敏感設備改裝時提供類似光刻的精度。該機由沈積站、模式工程站、評估站組成。沈積站允許光敏材料以高精度沈積在基板上。模式工程站允許在基板上創建高精度的模式，而評估站則允許評估已沈積的模式。TEL Clean Track Mark 7光刻膠工具使用專利塗層工藝，其中包括獨特的預處理階段。在這一階段，用氧基等離子體處理底物，以去除汙染物和氧化層，這可以降低沈積光致抗蝕劑的質量。預處理階段還確保光刻膠與基板的有效粘附。光敏資產還具有高質量的成像模型，包括數字圖像傳感器、高精度光學透鏡和專有的圖像處理算法。這臺設備采用尖端技術，為成像過程提供更高的分辨率，允許對圖樣形成進行精確的控制。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7光抗蝕劑系統還具有自動圖樣校正技術，允許調整抗蝕劑圖樣的大小、形狀和/或方向。這一特性允許產生非常精確的圖樣，可以實現緊密的公差和高產率。此外，這種光致抗蝕劑裝置還配備了除粒機，有助於減少光致抗蝕劑中的顆粒汙染。該工具幫助光刻膠資產保持清潔，並允許形成高精度的抗蝕劑圖案。綜上所述，Clean Track Mark 7光刻膠模型是處理和維修HDIC和HAR設備的先進解決方案。專利塗層工藝和自動圖樣校正技術允許形成精確和精確的抗蝕劑圖樣，而成像設備和顆粒去除系統則有助於確保清潔度和準確性。