二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293746066 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一種光刻設備,使集成電路（ICs）制造商能夠實現復雜結構的精細和精確處理。該系統能夠產生高精度和可靠的錫氧化物結構，而不需要預先設計的遮罩。TEL Clean Track Mark 7利用獨特的專利Optra Beam輪廓技術,精確調整光束形狀和功率密度,以匹配基板和光刻膠輪廓,從而實現所需的加工目標。該機允許對光束形狀和功率密度進行實時監控和調整，即使具有復雜的形狀和特征，也能實現高度精確和有效的處理。TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7還采用了最先進的成像和激光控制技術，以及改進的消除陰影和耀斑效應的輻照裝置。通過精確控制激光光斑大小和功率密度，減少了薄膜重叠，從而提高了最終結果的精度。與Clean Track Mark 7配合使用的光刻膠層設計為熱穩定，電阻非常低。這使工具能夠產生高長寬比的極薄（1-2微米寬）結構，以及非常細的線寬和狹窄的鋁互連。資產還允許不斷調整流程窗口,從而允許客戶定義嚴格的處理和性能標準,如圖像分辨率和關鍵特征高度。此外，還可以啟用和利用步驟和重復算法在多個基板上高精度地復制IC。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款功能強大且可靠的光刻膠型號,非常適合需要精確度和精確度的應用,例如IC製造。其先進的光學、成像和激光控制技術實現了高度精確但靈活的處理，即使在復雜的基板上也能確保完美的效果。