二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293765195 待售
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ID: 293765195
優質的: 2000
(1) Coater / (2) Developer system
Interface module
Temperature and Humidity Controller (THC)
Chemical cabinet
No power box
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是光刻技術的領先產品。為半導體器件制造商提供先進的光刻膠溶液.這項技術是為了在基材上精確實現所需的設計模式，如矽片。TEL Clean Track Mark 7具有獨特的口罩對準設備,能夠在光刻口罩和基板之間提供準確且可重復的對準。這是利用先進的光學對準系統完成的，該系統利用激光、衍射光束分離器和兩個照相機來檢測遮罩和基板之間的對準以及光刻膠對激光的曝光。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7具有獨特的曝光特性，使用高強度紫外線光源和改良的光學單元，將光刻膠精確暴露於掩模對準器。它還采用了一種采用高精度塗料的頂級塗料機，將光敏材料精確地塗在基板上。該工具旨在最大限度地減少暴露時間，減少浪費，並確保光刻膠的均勻塗層。CleanTrackMark 7旨在實現卓越的精密基板和高度精細的圖案。它具有先進的控制技術，例如專門的控制資產，可以在預先設定的精度範圍內維護過程參數。該模型能夠提供高精度的光刻效果，實現更密集的曝光和卓越的覆蓋。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7可與其他生產系統整合，取得更廣泛的製程能力。它配備了計算機化的接口設備，使其能夠與各種軟件程序配合使用。這使得系統可以獨立運作，或者與其他兼容技術結合使用。TEL Clean Track Mark 7由高質量的組件構建而成,為設備制造需求提供了可靠且高性能的工具。它是為長期使用而設計的，需要最少的維護。此單元提供卓越的分辨率,並且能夠產生比其他技術更精確的高度詳細的模式。
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