二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293768004 待售
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ID: 293768004
優質的: 2000
(1) Coater / (2) Developer system
Interface module
Temperature and Humidity Controller (THC)
Chemical cabinet
No power box
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一種光致抗蝕劑設備，利用高分辨率、高靈敏度的控制來製造需要極精確厚度控制的塗層。該系統用於制造半導體、平板顯示元件和其他極薄的塗層。Mark 7采用了在線短信、邊緣微切片技術、即時制圖等技術，創造出具有穩定附著力和受控電氣特性的高效塗層。SMS-on-line技術允許加速塗層過程,增加穩定性。該裝置能夠控制微觀制造所需的微小厚度和均勻度增量，使光刻膠能夠塗覆厚度均勻、精度高的多種元件。采用邊緣微切片技術對塗層邊緣進行精確定位，從而實現更廣泛的圖樣控制和更高的靈敏度。這導致塗層具有非常一致的圖樣和高度均勻的邊緣輪廓。這樣還可以減少塗層故障,並實現更緊密的厚度公差。即時陣列化功能為Mark 7提供了更大的靈活性,允許不僅在批次之間而且在批次內更改布局。這臺機器使用戶能夠快速進行更改並確保準確的塗層評估。Mark 7還具有用於監視整個處理環境的高級控制單元。該工具具有一系列提供實時反饋的傳感器，使資產能夠自我校準，可以即時進行調整，以確保塗層更加一致。TEL Clean Track Mark 7是在一系列基板上實現極高分辨率、精確塗層工藝的理想解決方案。其在線短信、邊緣微切片和即時制圖技術為實現具有受控電氣特性的復雜微觀結構的精確塗層提供了一個通用、安全、高效的模型。
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