二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293770189 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7（又稱CTM7）是制造半導體器件的光刻設備。它是一種全自動、非接觸式曝光工具，設計用於生產各種光掩模。該CTM7是一個中檔系統，旨在執行精確的光刻操作，具有嚴格的公差水平，同時保持高收益率。該裝置采用先進的轉盤式輸送機構，支持多次曝光，確保基板對齊一致。轉盤連接到先進的步進電機，以提供精確的基板處理能力。它還包括一個真空卡盤機，支持處理具有緊密均勻性水平的易碎基板。該工具能夠處理5英寸、6英寸和8英寸晶片，同時保持99.99%的收益率。曝光資產配備了超高真空（UHV）源腔室和光學部件。此設置允許雙聚焦和掃描曝光操作,曝光精度可降至幾納米。它還提供雙曝光和激光曝光功能,以及線條和邊緣曝光的可調對準。該CTM7還具有可編程晶片定位模型，可用於自動將晶片定位到曝光區域。這有助於通過最少的手動輸入來確保可重復、高質量的結果。此外，CTM7還配備了多種軟件，便於操作和精確控制暴露過程。總之，TEL Clean Track Mark 7是一種先進的光刻設備，非常適合制造半導體器件。它具有轉盤式輸送機構、真空卡盤系統、Ultra-High Vacuum源室、雙聚焦和掃描能力、激光曝光能力、可調對準和可編程晶圓定位單元。它能夠以最少的人工輸入產生一致和高質量的結果。