二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #293819950 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款為精密加工、沈積和蝕刻工作而設計的自動化光刻設備。該系統采用高速激光劃線裝置，可實現高精度叠加對準。該機配備了多種工藝可調參數，便於針對不同基材類型或工藝要求進行調整。這種光刻膠可以薄膜形式提供給小幾何形狀的高分辨率圖樣。該工具利用超高頻多束激光源，產生一系列激光脈沖，將圖樣塗抹到基板表面上。然後將劃線標記用作光刻沈積循環的對齊參考。該資產能夠精確控制基板表面地形，從而能夠在嵌入的標記上準確定位和定位光刻膠。光刻膠模型可以將薄膜形式的光刻膠材料沈積到基板表面上。這種精確的薄膜沈積可以實現小幾何形狀的高分辨率陣列，是半導體器件制造的理想選擇。該設備還配備了一個集成相機，用於精密對準用於劃線過程的激光束。該相機還用於沈積過程中的實時反饋，允許光刻膠在劃線標記上的高精度配準。光致抗蝕劑系統是為可重復性和吞吐量而設計的。該裝置每小時最多可接收2,000張照片。這種高吞吐量使得它非常適合吞吐量至關重要的應用程序,例如大規模生產運行。TEL CleanTrackMark 7機是光刻材料在劃線基板上沈積的理想解決方案。高速多光束激光源能夠對光刻材料進行精確的塗抹和配準。集成的攝像頭和自動化的過程控制工具可實現高精度的陣列設計,且誤差最小,周期時間也很快。該資產用途廣泛,非常適合用於具有多種基材和工藝要求的小幾何形狀的高分辨率陣列。