二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158026 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是為提高IC和半導體制造商的生產產量而設計的最先進的光刻設備。該系統將光聚合物「墨水」應用於預制的薄金屬、聚酰亞胺和其他薄膜基片晶片，允許對光致抗蝕劑進行精確的制圖。TEL Clean Track Mark 7提供了先進的集成過程對齊功能,可實現快速、準確的對齊,使其能夠接觸到高達0.25 µm的模式。這一特性提高了0.6 µm級圖案的光敏精度。該機器還具有自動預熱選項,在暴露過程之前提供快速加熱過程,並防止由於溫度不均勻而導致暴露異常。利用超短波長準分子激光器提高了感光圖像的精度。這種激光提供了更高的亮度和更大的曝光面積，允許更短的曝光時間和更少的機器周期時間。此外，通過減小最小特征尺寸和有效減小變化，激光提供了比傳統系統更高的分辨率。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7還具有內置的去汙工具（DCS）工藝。DCS設計用於在曝光前清除成像和曝光區域中的任何汙染物。這一特性降低了曝光過程中受到汙染的機會，有助於提高光刻膠圖樣制作過程的準確性和穩定性。Clean Track Mark 7配備了多個選項,用於自定義指定材料和應用程序的最佳匹配條件。資產的高級功能配備了一系列客戶支持服務,包括遠程診斷、型號維護和軟件升級等服務。所有這些特性使得TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7成為最可靠、效率最高的半導體和IC制造光阻系統之一。