二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158027 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一種用於制造集成電路（ICs）的光刻膠設備。該系統的工作原理是將IC基板暴露於UV光源，在UV光落下的地方霧化光致抗蝕劑。該單元用於創建多種不同類型的IC，包括數字邏輯、模擬器件和應用特定集成電路（ASIC）。該機由光刻膠供應、光刻膠顯影裝置、遮罩對準工具、光刻膠曝光資產、光刻膠去除裝置幾個部分組成。光致抗蝕劑供應組件負責以確保其清潔度和確保每種混合物相同條件的方式供應和儲存光致抗蝕劑。光敏顯影裝置有助於確保光敏顯影的一致性和準確性.它負責精確定位和測量光致抗蝕劑混合物，然後控制開發過程以獲得一致的結果。掩模對準模型負責確保光刻膠從掩模精確轉移到IC基板。該組件有助於將光掩模正確對準晶片,從而將正確的特征精確地傳遞到IC基板上。光敏曝光設備負責控制紫外線光源，以及其均勻性和功率。這確保了光刻膠在整個光掩模上均勻曝光，也確保了所需的圖樣被精確地轉移到IC基板上。最後,光致抗蝕劑去除裝置負責光致蝕刻工藝的管理.這包括蝕刻過程的定時、蝕刻過程中使用的化學成分，以及確保整個過程中蝕刻過程保持清潔。TEL Clean Track Mark 7是一個強大可靠的系統，用於集成電路制造中的光刻膠應用。它將幾個系統合並為一個系統，以便有效和準確地進行光掩模對準和光刻膠曝光。該單元允許光刻膠均勻轉移到IC基板上，能夠準確控制顯影和蝕刻過程，取得優異的效果。該機器非常適合各種IC生產需要，並被大多數IC制造設施所依賴。