二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9158029 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7（CTM7）是一種針對晶圓清洗和加工而優化的光刻設備。系統使用高性能光束記錄器（HBR）來捕獲和處理半導體晶片的高分辨率圖像。該CTM7有一個三軸換位表，可以精確定位晶片，用於成像過程。成像過程利用了多種工具配置,並使用多達十二（12）個高級透鏡進行動態晶圓掃描。透鏡能夠捕獲和處理晶片上的特征，分辨率高達25納米（nm）。CTM7利用光刻技術捕獲半導體晶圓的圖像。光致抗蝕劑是現代半導體制造中使用的一種光敏材料，用於在晶圓表面創建圖樣。CTM7用適當波長的激光照亮晶片，而HBR照相機捕捉反射圖像。然後將捕獲的圖像數字化並記錄下來以便進一步處理。CTM7可以支撐晶片上的多層光刻膠，必要的層由器件設計決定。CTM7還配備了獨特的多維晶圓穿梭裝置（MDSS）。MDSS允許晶片在HBR腔室和工藝腔室之間快速傳輸。MDSS還可以對晶片進行背面成像，這增加了光刻機捕獲和記錄設備特性的能力。CTM7的先進技術和功能使其成為最先進、最可靠的光刻膠系統之一。該工具是為最大的效率和可靠性而設計的，降低了半導體制造的成本。此外,CTM7還包括各種安全功能,如自動檢出、斷電保護、激光禁用和緊急停止。這些特性使CTM7成為半導體生產中最安全的選擇之一。