二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165446 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7（CTM7）是一種光致抗蝕劑設備，可精確掃描圖樣，在金屬、電子、玻璃等多種基板上產生精確的模版和蝕刻圖樣。該系統是為了利用最新的半導體和封裝技術而開發的。它采用「幹凈」的打印頭設計,可消除灰塵、汙垢和其他汙染物,從而防止形成精確的圖樣。CTM7由穿梭單元、波紋管和帶有旋轉板的雙面卡盤組成。穿梭機將面板或基板從一個工作站移動到另一個工作站,自動執行過程的每個步驟。波紋管使面板居中,並與工具一起密封真空袋。這個過程分為三個階段。首先，進行預處理以制備沈積的基板表面。在此階段，任何灰塵、汙垢或其他汙染物都會從基板表面清除。這個過程是通過加熱基板來完成的，以便有效地粘附。接下來，光致抗蝕劑沈積發生。光致抗蝕劑是一種暴露於光的液體，硬化後會凝固。使用激光束將基板暴露在光敏材料上，精度為0.5微米。這種步進資產允許對基板進行精確的圖樣和蝕刻。最後，進行後進程。此步驟將從基材中移除所有剩余的光致抗蝕劑。熱液洗滌，然後進行基材幹燥和電化學蝕刻，完成了這一過程。結果是一種高精度、高可靠性的模具，可用於許多應用。該CTM7是一個高效和經濟高效的工具，因為它一次最多可以處理面板，準確的印記比傳統的流程要少。因此,CTM7在優化生產的同時降低了能耗。