二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165472 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7
ID: 9165472
晶圓大小: 8"
Coater / (2) Developer system, 8" Scrubber Single block Interface CANON Stepper Wafer flow: Left to right.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7(CTM-7)是由東京電磁公司開發的先進光刻設備,用於先進的半導體制造工藝。該CTM-7利用了許多尖端技術,使其能夠比以往更快、更準確地處理晶片。該CTM-7采用具有高精度導線和側傾螺釘以及滾動導軌組件的繼電器型軌道系統,確保晶片沿著精確路徑運行。此外,CTM-7采用獨特的雙層旋轉結構,以確保晶圓的均勻運動,並減少旋轉晶圓所需的時間。該CTM-7還配備了一個高分辨率攝像頭單元,使其能夠檢測和存儲晶圓信息。然後將這些信息用於指導晶片上的光刻過程,確保光刻膠的最佳應用。該CTM-7還配備了多區溫控機,可維持CTM-7各地區的均勻溫度。該工具能夠精確控制從-10°C到+250°C的溫度。該CTM-7還可以與多個其他系統集成,如濕式板凳、加熱器控制器和光刻系統。這允許跨流程的多個階段進行集成。該CTM-7是設計用於制造半導體的高度先進的光阻資產。其先進的設計和特點使其能夠準確快速地加工晶片,使其成為用於生產線的理想模型。此外,它與其他系統集成的能力使其成為簡化光刻膠工藝的強大解決方案。
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