二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165473 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款具有先進功能的模式選擇性光刻設備，使其能夠精確沈積具有多種所需特性的感光膜。該系統采用三級工藝，保證了光刻應用中均勻的薄膜厚度和近乎完美的精度和分辨率。首先，根據材料沈積和掩蔽的特定模式建立了一套專有光臭氧。然後，這些區域被機器視覺引導，將光敏膠片的沈積引導到預定的光臭氧上。用戶可以根據所需的光刻類型以及過程中的任何其他附加步驟在不同程度的薄膜厚度之間進行選擇。第二階段涉及應用等離子體預處理，用於改善光刻膠膜的潤濕。等離子體預處理本質上是一種低能電離氣體，在與底物表面鍵合之前，有助於加熱並引發光致抗蝕劑反應。通過以多種方式控制等離子體預處理，用戶可以針對其預期目的，有選擇地調整光敏膜的性能。TEL Clean Track Mark 7內的第三級是光致抗蝕劑暴露於紫外線（UV）的地方。這通常用一系列機械來完成，以減輕人工操作的一些弊端。利用多軸運動控制系統和精密光學器件，可以快速實現高分辨率圖像的完美采集速率。此外，該機利用專有的軟件工具來幫助優化分辨率和自動校準和調整參數。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7因其精確度和均勻性，是光刻應用的理想工具。利用其三階段工藝，光刻沈積的精確度和分辨率可以獲得較高的成功。通過使用該資產，可以以一致和可靠的方式實現各種厚度的光阻材料。此外,模型的高度自動化特性允許快速、高效的過程,在此過程中,用戶可以期望獲得很高的準確性和分辨率。