二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9165478 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 7是一款光刻設備，為創新的光刻工藝提供優異的性能。它專為先進的口罩制造而設計，專註於高密度液晶、平板顯示器、半導體器件以及其他先進電子制造等多種應用的大批量生產。TEL Clean Track Mark 7使用濕式軌道系統提供光刻處理,並采用優化的光刻膠制圖工藝,以提高產量和吞吐量。它支持廣泛的基板尺寸和配置，每小時最多可處理120個基板。該單元配備了高精度激光聚焦機，提供卓越的蝕刻輪廓，具有出色的均勻性和準確性。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7配備了高分辨率的遮罩對準器，允許口罩和高速標線的精確互換，以及一種先進的化學再循環工具，保持低殘留水平，以在光致抗蝕劑應用中獲得最佳效果。其智能噴霧資產保證了應用抗蝕劑的一致性和最優化，而其先進的聚焦檢測模型實現了精確的步長覆蓋和優越的圖樣放置精度。該設備的設計旨在確保有效的晶片清洗，具有自動洗滌和自動清洗機制，用於維護和延長產品壽命。該系統包括一個內置數據交換端口,允許在設備、控制應用程序和各種外部主機之間實時傳輸關鍵數據。這確保了可靠和高效的操作以及高效的過程監測和控制。Clean Track Mark 7符合眾多行業標準,可輕松集成到工廠的光刻環境中。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款高性能的光刻機，旨在滿足先進電子生產的需求。它提供了準確可靠的陣列設計結果,具有出色的均勻性、吞吐量和步長覆蓋率,非常適合各種制造應用。