二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是半導體工業中光刻工藝中使用的最先進的光刻設備。該系統旨在提高集成電路中亞微米特性的精度和重復性。光刻是將圖樣放入基材材料如半導體晶圓、液晶玻璃或半導體工業中使用的其他材料上的過程。該單元利用強大的投影光學器件和高精度級對準基板材料的暴露和未暴露部分。TEL Clean Track Mark 7機器為達到其卓越的精度和可重復性,結合了高性能的光學工具和運動控制資產來控制基板材料的路徑和檢查。光學模型配備寬帶準直透鏡，將光聚焦在塗層上。一種高速、超精確、步進重復的運動控制設備，由用於基板對準和元件放置的3軸直線級和用於掃描、檢查和沖洗的6軸鉸接機器人臂組成。該系統允許在基板材料上精確和可重復地放置光敏材料層。該技術還包括一個自動清潔站，用於清除基材中的殘留物、灰塵和汙染物，以及一個膜檢測站，以確認適當的層位和對準。最先進的TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7單元還融合了創新的圖像識別算法和機器人工具，用於光刻膠層的檢測和優化。該機能夠檢測小到2 µm的缺陷和缺陷，能夠以5 µm的精度測量線緣粗糙度和尖端到尖端的距離。Clean Track Mark 7工具獲得了TEL的專利，是實施尖端半導體工藝技術的領先光刻資產。這種先進的模型為許多行業（如半導體、顯示器和數據存儲）使用的精密光刻工藝提供了高精度、重復性和可靠性。該設備的精確度和多功能性使其成為制造小型超高密度電子元件的理想解決方案。