二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9243715 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款光刻設備，能夠執行高精度、高通量的蝕刻工藝。設計用於制造多種微電子器件，如半導體芯片、場效應晶體管、薄膜晶體管。該系統采用一種稱為「清潔軌道」的專有靜態充電工藝，無需在晶圓層之間進行清潔，從而提高了生產效率。TEL Clean Track Mark 7包含一個用戶定義的環境室，允許在蝕刻過程中對溫度和濕度條件進行最佳控制。這樣可以防止晶片上形成靜電，從而實現更精確、可重復的蝕刻過程。Mark 7還配備了高分辨率相機，提供了對蝕刻操作的精確控制，允許高度精確和可重復的結果。它還有一個多區控制器，可以同時調節薄膜厚度、蝕刻速率、晶圓不同區域蝕刻均勻性等參數。該設備具有多種自動化功能,易於使用。它可以編程為自動選擇完成特定工藝所需的適當蝕刻參數，同時確保最佳的均勻性和準確性，同時最大限度地降低過度蝕刻的風險。此外，該軟件還包括一系列安全功能，確保人員安全和蝕刻時材料的完整性。最後,Mark 7提供了與用於自動數據收集的「幹凈軌道」軟件套件的無縫集成,允許用戶根據需要快速訪問記錄、分析趨勢和調整參數。軟件還包括一個根本原因分析功能，可以在出現問題之前識別過程中的問題。這有助於提高機器性能和可靠性。總體而言，TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款先進的光刻工具，提供一致且高度精確的蝕刻，加上現代軟件套件增加的安全性和數據收集功能，使其成為任何蝕刻操作的絕佳選擇。