二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9246548 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一種光刻膠設備，為成像和處理提供多種選擇。這臺機器提供了一個高效的平臺，用於光學光刻和先進的圖樣制作過程，如蝕刻、沈積和升空。該系統采用高速、多波長激光和優越的鏡面單元，在半導體晶片上創建清晰、高分辨率的圖像。該機還配備了動態熱級，保持對基板溫度的精確控制，確保最高的圖樣分辨率質量。該機器旨在減少缺陷和汙染,非常適合敏感、高分辨率的應用。它具有先進的過濾工具，其中包含三個獨立的單元，以去除顆粒、水分和空氣中的汙染。TEL Clean Track Mark 7還配備了最先進的氣流資產，該資產將加工區域與腔室隔離開來，以防止空氣汙染進入模型。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7能夠處理多種材料，包括絕緣體矽晶片（SOI）和藍寶石矽晶片（SOS）。此外，該設備還具有多種沈積和升空選項，包括濕法、幹法和激光沈積/升空工藝。最後，Clean Track Mark 7配備了先進的影像系統。該單元能夠解析低至0.5微米的模式,非常適合DRAM和SRAM應用。此外,機器還可以處理多層傳輸,從而確保跨不同層的高精度和可重復性。此外,機器還提供高級對齊功能,允許用戶在基板上精確定位不同的層。總體而言，TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一種功能強大且可靠的光致抗蝕劑工具，用於成像和處理半導體晶片。它具有高分辨率成像功能、多種沈積/升空選項、先進的氣流過濾以及出色的對準功能。這臺機器是各種成像和處理應用的理想選擇。
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