二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9265762 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款光刻設備，專為制造微電子元件等高精度應用而設計。它擁有高精度、低應力和低氣候依賴性的蝕刻環境,使最復雜的結構易於制造。TEL Clean Track Mark 7是一個包含三個組件的系統：一個浸入式單元、一個轉移單元和一個幹燥單元。浸入式裝置是浸入溶劑基蝕刻溶液中的真空室。這提供了一個可重復、高度均勻的蝕刻過程，並且不需要蝕刻後處理。轉移單元將圖樣化的光刻膠掩模從晶片轉移到浸入單元，幹單元從蝕刻材料中驅除多余液體。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7能夠精確蝕刻直徑低至45nm的特征,具有出色的邊緣控制和出色的線寬控制。它能夠處理各種光敏材料，使其能夠用於一系列高度敏感的微觀制造過程。該單元還具有高精度的晶圓處理，可重復的精度水平為0.6 μ m，超過5 μ m長的步長。除了高精度蝕刻技術外,Clean Track Mark 7還采用模塊化設計,使用戶更易於定制。它還配備了方便直觀的操作員界面，幫助過程監控。該機具有內置功能，以確保流程一致性，設計可靠、高效、安全。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 7是一款高效可靠的光刻工具，可以滿足與制造最先進的半導體器件相關的嚴格要求。它能夠實現高精度蝕刻，具有出色的蝕刻速率控制，以及廣泛的晶圓處理能力，一次又一次地提供高質量的結果。