二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9350704 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是一款專為保證大型面板無顆粒加工最高水平而設計的光刻膠設備，尤其難以清潔聚酰亞胺和陶瓷等材料。該系統配有雙紫外線加速器源，特別適合在沈積前提高面板清潔度。TEL Clean Track Mark 7的頂部有兩個弧線，用來輻照富含臭氧的氙氣氣氛，以保持清潔的環境。當進入腔室時，面板沿著光滑的擦拭邊緣過程通過，該過程利用高速擦拭來清除任何汙染顆粒。然後，用漸進的高強度紫外線源清潔面板表面，進一步消除任何潛在的顆粒。根據所使用的基板類型,TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7能夠根據客戶的特定工藝需求,從0.1微米到0.3微米進行精確清潔。Clean Track Mark 7的房間裏充滿了不斷監測和控制以獲得最佳無顆粒環境的清潔氮，而其他一組傳感器則不斷監測室內的溫度、濕度和氣體水平。此外,還安裝了高速快門,該快門僅在面板對齊以達到最大覆蓋範圍時才打開。這樣可以最大化吞吐量並降低功耗。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7的操作員面板為用戶提供了所有先前存儲的預設食譜的列表，以及最多存儲150個新食譜的能力。直觀的圖形用戶界面允許操作員快速選擇需要更改和接受的參數。此外,該設備還使用功能強大的自我診斷工具來不斷監控機器並限制幹擾和停機時間。TEL Clean Track Mark 7還配備了EXECon，這是一個高級圖像分析工具。這一資產可以積極監測清潔過程，以查明可能需要清除的顆粒和碎片，使使用者能夠迅速查明任何潛在問題並迅速加以解決。總之，TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7是精確快速清洗大面板等難以清洗材料的理想型號。其高度精確的紫外線源、自我診斷工具和EXECon確保了最高水平的無粒子處理。直觀的用戶界面支持簡單的操作和配方存儲,而其富含硝化物的清潔室的連續操作確保了面板的最佳清潔度。
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