二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #190708 待售
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已售出
ID: 190708
Coater system, 8"
Coat process: ARC, COT
Main fab:
Mainbody
Qty Item Description
(2) COT Coater units
(2) AD Adhesion units
(6) HP Hot plate units
(2) DHP Dehydration hot plate units
(1) WDS Cup wash unit
(2) COL Cooling units
C/S:
(3) SMIF Stage
Sub fab:
Submodule:
Item Description
SHINWA THC-CP T&H Controller
Chemical box
PR Cabinet
Currently warehoused
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一款為半導體器件制造的先進基板制備而設計的光刻設備。它專為優化性能、準確性和更高級別的可重復性而設計,為一系列設備制造應用提供了理想的解決方案。該系統配備了實時運動控制、精密機器人操控和先進的基於攝像頭的視覺解決方案,允許精確的基板移動和精確的定位。它一次最多可配置三個晶片,並提供先進的自動化光學功能,允許精確對準掩模和基板。TEL Clean Track Mark 8具有用戶友好的圖形界面,能夠保持厚膜均勻性,提供高精度的圖樣。其先進的基板制備裝置采用化學蝕刻和激光剝離等清潔和剝離工藝相結合的方式,為一系列工藝快速制備基板表面。此外,先進的光學位移和位移速度控制提供了更高的精度,使得可靠和準確的模式。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8先進的晶圓和掩模處理特性,使高膜厚度控制的多掩模叠加和圖樣更加精確和可重復。這包括一個專用的遮罩提升機構,它被集成到視覺機器中,以確定精確的晶圓到遮罩的對準。Clean Track Mark 8還提供了強大的監控功能,並且該工具配備了高級配方管理資產和數字化流程控制,以確保所有設備都能提供高效的配方。這包括高級遠程監視功能,包括實時訪問流程數據的功能。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是任何需要高精度、可靠性和可重復性的工藝開發應用程序的理想工具。其強大的設計和高級功能確保了它能夠針對長期性能進行優化,從而使該模型成為高級流程應用程序的理想解決方案。
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