二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #27547 待售
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ID: 27547
晶圓大小: 8"
(2) Coater / (3) Developer systems, 8"
Double block + IFB
Right to left
2C2D 1IFB
2C3D 1IFB
SMIF - 3SUC.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一種用於制造半導體等電子元件的光刻膠設備。它是一種獨特的制造工具,利用強烈的紫外線輻射和掩蔽工藝將復雜的圖樣蝕刻到半導體材料的晶片上。在晶片上使用了一種光致抗蝕劑,可保護晶片的所需區域不受紫外線輻射。然後,非屏蔽區域會受到紫外線輻射的照射,這會在剩余的光致抗蝕劑中引起化學反應,並將暴露區域蝕刻掉,留下所需的圖樣。TEL Clean Track Mark 8采用了先進的光刻技術,保證了高品質的光潔度和精確的蝕刻。它允許可調蝕刻參數,如紫外線暴露時間、晶圓與掩模之間的距離、輻射強度和掩模設計。這允許在半導體材料上蝕刻各種設計。該系統還具有一個先進的冷卻裝置,帶有空氣射流和溫度傳感器,以確保光刻膠的溫度在整個蝕刻過程中保持一致的水平。這樣可以進行精確的蝕刻,並確保圖案的設計被精確地復制。冷卻機還有助於減少浪費和對光刻膠和晶片的損壞。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8也使用了先進的軟件來控制光刻膠、蒙版和蝕刻工藝的參數。該軟件用戶友好,可以輕松編程,以允許靈活的設置和設計。總體而言,Clean Track Mark 8是一種創新的光刻膠工具,用於制造電子元件。它通過可調的設置及其先進的冷卻資產提供高質量的精加工和精確的蝕刻。它還具有用於控制過程參數的高級軟件。這使得它成為制造業必不可少的工具。
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