二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293616507 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8光刻膠設備是為光刻處理而設計的先進成像解決方案。該系統旨在最大程度地提高吞吐量,同時減少對掩模材料的熱影響。它的模塊化設計使其能夠適應廣泛的生產應用，並輕松地與大多數現有的光刻系統集成。TEL Clean Track Mark 8利用先進的鏡頭單元，並使用五波段紫外線照明，達到高達100 nm的空中影像分辨率。其令人印象深刻的成像精度，加上其波長選擇輻射能力，使機器成為高端光刻應用的理想選擇。它還具有很高的動態範圍，以提供這些處理所需的清晰度和微妙的音調範圍。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8包括一個可編程電阻率控制器,可確保光刻膠的均勻應用,並提供高沖洗速率,有助於最大程度地減少過程變化和非均勻性。它支持高分辨率掩碼寫入，包括交替和多級分層掩碼寫入。該工具采用了一種改進的計算機控制算法，以減少像差並確保光致抗蝕劑的均勻劑量。它配備了晶片對準資產，用於穩定、可重復的處理，包括用於環路對準和缺陷輸出控制的CCD攝像頭。為方便起見,Clean Track Mark 8配備了用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和觸摸屏控制。GUI可輕松訪問所有編輯、操作和腳本功能。它提供動態圖像大小調整,以及自動晶圓索引和對齊校正.TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是光刻應用的理想光刻模型，要求高通量、重復性和準確性。其尖端的鏡頭設備和先進的成像能力使其成為最高口徑半導體處理的可行解決方案。