二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293628320 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一款高精度、精細圖案設計的光刻設備。光致抗蝕劑系統的設計目的是將細膩、均勻的圖樣暴露在矽片等基板上，用於制造創新的半導體器件。該單元使用可淹沒軌道掃描儀，由主體、投影物鏡和驅動系統組成。水下軌道掃描儀連接到軌道控制器，該控制器控制機器的各種參數。投影物鏡與軌跡掃描儀相連，浸沒在液體光刻膠溶液中。投影物鏡用於將光聚焦到光阻上,驅動系統允許將圖樣精確定位到基板上。該工具可產生均勻、高精度的圖案，精度高達0.1微米，圖案高達0.2微米。光刻膠還提供穩定性，意味著它不受溫度、壓力或年齡的影響。這使得它非常適合用於半導體器件的制造，因為需要高精度、精確的圖樣。TEL Clean Track Mark 8資產非常適合那些需要以可靠、準確的方式在其基板上對薄層進行陣列設計的人。該模型可提供精度高達0.1微米的均勻、高精度圖樣，使用的光刻膠不受年齡、溫度和壓力的影響。最後，這種設備還可以用來制作高密度、三維的圖案，確保能夠以更高的精度和精確度生產出創新的裝置。