二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293635984 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是半導體製造光刻工藝中使用的光刻膠設備。Mark 8系統將一層薄薄的光致抗蝕劑應用於晶圓，然後將晶圓暴露在紫外線下。這種對紫外線的暴露在光線暴露的點上引起化學反應，從而改變了薄膜的性質。這使得光抗蝕劑可以根據光的圖樣蝕刻掉。Mark 8單元能夠以極高的精度曝光光刻膠，創建低至0.4微米特征大小的圖案。這是Clean Track系列前一款車型的兩倍精確，有助於生產出可想象的最高質量的微電子元件。機器利用專有CCD相機精確定位晶片，精度小於1微米，以確保晶片對準精確。該工具還使用了一個RIE蝕刻室和一個三區爐來精確地塗抹和去除光致抗蝕劑。RIE蝕刻室允許使用各種蝕刻條件來定制任何給定應用的光刻工藝。Mark 8資產是一種先進的光刻膠模型，可以處理最現代、最精密的半導體元件。該設備不僅提供精確的蝕刻和對準，還允許對浸出參數進行專門的調諧，以確保所應用的光刻膠與暴露的紫外線完美匹配。Mark 8具有市場上一些最先進的編程功能，具有直觀和用戶友好的界面。它允許實時更新和預測晶圓容量,以幫助確保成批芯片保持正常運行。此外,系統能夠跟蹤每個芯片的性能數據,幫助在問題成為問題之前識別和跟蹤問題。該單元還允許方便的數據跟蹤和分析性能和利用率，TEL Clean Track Mark 8是一款強大的光刻機，可以處理最先進和最具挑戰性的微電子制造工藝。該工具允許精確的晶片對齊、精確的蝕刻以及實時監控和數據收集,以確保質量、性能和吞吐量一致。它是任何半導體制造設施的理想選擇。