二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9128616 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一種光刻膠加工設備，用於半導體生產過程中加工晶片。光致抗蝕劑是一種光敏環氧型材料，暴露在光線下會選擇性硬化，非常適合光刻。使用該系統,光刻膠可以在受控環境中使用自動控制單元進行曝光、開發和剝離。TEL Clean Track Mark 8是一個模塊化平臺，有一個可根據需要安裝的房間選擇。這樣就可以進行多種類型的加工，如防腐塗層、預烤、曝光、曝光後烘烤、開發、剝離、幹條等。該機還能夠進行高精度的局部蝕刻，因為曝光工具使用步進和重復對準的激光束。該工具保持了極高的工藝產量，設計用於盡量減少消耗化學品和晶圓清潔用品等消耗品。其自動監控資產保持了最佳的工藝條件，對工藝數據進行實時分析以進行故障排除和維修。通過高級預防性維護,它最大程度地減少了停機時間,並提供了一系列從工藝缺陷或磨損相關問題中恢復的能力。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8還擁有一系列功能以確保無粒子生產。其晶圓加熱模型和循環器設計為防止腔內冷凝和自動濾波器旋轉設備防止濾波器堵塞。室內有一系列的洗滌刷和輻射加熱器，系統在剝離過程中含有顆粒。CleanTrackMark 8是一種高效可靠的光刻裝置。它的模塊化設計使用戶能夠根據自己的特定工藝需求定制解決方案,而其高精度激光對準有助於確保最高質量的產量。其先進的預防性維護和顆粒保留特性陣列使其成為半導體生產的寶貴機器。