二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9158018 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8（CTM-8）是一種光阻設備，設計用於提供半導體材料的高分辨率、高速陣列。它提供了廣泛的特性和功能,使其適合各種用例。CTM-8由塗層站和開發站兩個主要部分組成。塗層站由一個基板裝載系統、一個加熱真空室、一個抗蝕性塗層頭和一個輸送機單元組成，用於將基板從裝載機運送到開發站。開發站包括一個加熱的真空室、蝕刻源和一個單獨的基板運輸工具，在兩者之間移動基板。該CTM-8配備了高分辨率光學成像資產，能夠產生低至0.2 μ m的圖像分辨率。這樣就可以精確、高精度地設計精致的材料。該模型還提供了精確的基板對準，從而能夠快速、精確的圖樣。此外，CTM-8還配備了自動清洗工藝，可有效清除蝕刻基板上的殘留物。該CTM-8旨在優化光刻塗層工藝。它結合了專有的Resist Control功能，允許用戶精確監控和控制所應用的抵抗劑的厚度。這樣可以確保在每個進程運行期間都能獲得可重復、可靠的結果。此外,該設備還具有智能配置文件控制功能,可幫助維護均勻的抵抗線配置文件。該CTM-8還設計用於提高操作和維護性能。它包括一個內置氣體回收系統，有助於減少氣體消耗，從而提高可操作性。此外,該單元還包括一臺快速更換的噴嘴機,可簡化噴嘴維護,減少停機時間。此外,該工具還包括一個菜單驅動的操作員界面,以實現快速、輕松的操作,以及用於遠程故障排除的遠程訪問功能。總體而言,TEL Clean Track Mark 8為用戶提供了可靠、健壯且高性能的光刻膠處理解決方案。該CTM-8具有高分辨率的光學成像資產和對抗蝕性塗層工藝的精確控制，是半導體制圖的理想選擇。此外,它的自動化維護過程和用戶友好界面使其成為任何應用程序的絕佳選擇。