二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9184205 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是為半導體製造工藝而設計的先進光刻膠設備。它能夠以高精度和高效率地執行開發、曝光和後期處理的關鍵步驟。這使它能夠創建具有優化特性和改進性能的各種設備。系統的核心是強大的深紫外線曝光源。這可以在整個晶片表面提供均勻的輻照,並能夠準確控制圖樣分辨率和線/空間寬度。曝光時間可針對較小的特征大小和較高的長寬比進行調整,從而允許使用更復雜的陣列,包括緊密間隔的線條和更復雜的幾何形狀。該單元配備了化學分配機，使用高度精確的蠕動泵以受控速率將顯影劑施加到晶片上。這確保了光致抗蝕劑以所需的強度和均勻的方式發展。後處理過程采用靜態和動態平衡功能進行優化，可以微調顯影板的傾斜度和速度，以及化學分配速率。Mark 8是為最大的操作安全性而設計的。它有一個內置的煙霧提取工具，可以自動過濾空氣中的化學物質和實驗室汙染物，以保護用戶免受暴露。此外，該資產的設計目的是滿足或超過包括腐蝕性化學品處理以及有毒物質儲存和處置的嚴格規定。為了確保最高級別的性能和可靠性，在交付之前對模型進行了嚴格的測試和校準。這包括運行各種模擬來模擬光刻膠層中缺陷級別的影響，以確定任何給定應用的最佳設置。TEL Clean Track Mark 8的開發旨在實現靈活、經濟高效的光刻膠處理。它對光能水平的精確控制、化學品的精確分配、動態平衡和自動化的安全特性使其成為半導體制造的理想工具。