二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9238274 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一款最先進的光致抗蝕劑設備，設計用於大批量制造和檢查薄膜器件。它能夠對晶片光刻應用中的化學材料進行精確、精確的處理。Mark 8具有全自動噴塗和晶片處理系統，利用精確的測量和控制來產生精確的表面塗層和暴露在晶片上的抗蝕劑。Mark 8是一個單源的光致抗蝕劑單元，使其能夠執行整個光致抗蝕劑流動和基板制備過程。這包括預清潔、晶片加工和光阻材料的沈積。其先進的搜索和對準機器設計，以確保光掩模精確對準相應的圖樣在光刻層。此外，其光學區域檢測系統能夠識別光刻膠薄膜結構中的細微誤差，從而確保工藝的質量和準確性。Mark 8的先進技術確保了它能夠精確處理多種薄膜光刻膠材料，如聚合物抗蝕膜、聚酰亞胺膜和光刻膠油墨。因此，該工具可以輕松地執行復雜的光刻任務，如蝕刻、沈積、成型和石刻。再者，Mark 8還包括多個晶圓操作和功能，允許額外的靈活性和多功能性。該資產適用於範圍廣泛的模式，從納米到微米尺度。為確保圖樣的精確度和可重復性,Mark 8采用了先進的熱管理技術和極低電壓驅動模型,從而避免了晶圓表面可能受到電氣損壞的風險。另外，晶圓表面可以通過Mark 8熱板的溫度控制來調節，進一步提高其精度和可靠性。總體而言,TEL Clean Track Mark 8是一款先進的光刻設備,旨在為各種光刻應用精確處理薄膜光刻材料。它的自動化過程和精確的晶圓處理確保了微米和納米尺度的晶圓能夠實現準確和可重復的模式。
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