二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250393 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一種光刻設備，用於制造半導體器件的光刻特性，用於制造集成電路。該系統使用兩個光源來繪制光刻膠圖樣，一個聚焦光源和一個掃描光源。聚焦光源用於創建圖樣的一層,而掃描光源用於創建光刻膠圖樣的連續層。聚焦光源由激光束組成，激光束通過一系列透鏡聚焦到光致抗蝕層上。這種聚焦光束為光致抗蝕劑提供動力，使其交叉連接並形成圖樣。然後將圖樣轉移到光致抗蝕劑層，可以使用許多圖樣制作技術來獲得不同的結果。掃描激光源用於繪制光刻膠的圖樣。激光束聚焦在光致抗蝕劑上，並以光柵模式在光致抗蝕劑層上發射。然後對每一層重復這種點火模式，產生一種復雜程度不同的模式。激光束也被用來蝕刻掉多余的光致抗蝕劑，在基板上留下所需的圖案。TEL Clean Track Mark 8單元能夠產生尺寸小於0.13微米的圖案，使其能夠產生任何其他光刻機無法達到的精細圖案。該工具也不像其他光阻系統那樣容易發生失火和錯誤，使其成為創建半導體器件的可靠選擇。此外,資產的處理時間比其他系統短,這使其成為制造商更有效的選擇。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一種高度可靠和高效的光刻膠模型，能夠產生尺寸低至0.13微米的圖案。該設備用於制造半導體器件的光刻特征，用於制造集成電路。該系統使用兩個光源-一個聚焦光源和一個掃描光源-來繪制光刻膠圖樣，從而實現高精度和高精度。與其他系統相比，該單元不太容易發生失火和錯誤，使其成為制造商的理想解決方案。