二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250395 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一款具有微傳輸和高性能晶圓處理系統的光刻設備。它能夠進行高達300毫米晶片的高質量光敏處理。TEL Clean Track Mark 8單元提供了一套循環真空兼容性的選項，適用於幹條/蝕刻、清潔、蝕刻和旋轉塗層等多種應用。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8旨在提供優越的晶圓對準精度、可靠性和有效載荷直至目標。機器的高速對準工具可以安全傳輸,而不會造成晶圓損壞。資產還具有獨特的結構，不需要浮動軌道，消除了晶圓在轉移晶圓時夾緊的問題。Clean Track Mark 8模型的微傳輸基於旋轉平臺，能夠同時傳輸多個晶圓，從而增加了過程吞吐量。該設備還配備了高速、高分辨率攝像頭，以確保光刻膠精確對準和定位到晶片上。相機配備了能夠檢測微小模式變化的成像系統，非常適合生產先進的圖樣化設備。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8單元的另一個特點是其高端晶圓處理機。該工具允許同時加載和卸載多個晶片,以最大程度地降低過程的成本和時間。該資產還提供自動剪切和石英切割，以及自動批處理。這允許從初始階段到最後階段對晶片進行高效處理，節省時間並提供高效的過程控制。該模型還提供高級工具和生命周期服務,以實現高效的過程控制。這些包括流程監控、流程驗證和流程診斷。此外,TEL Clean Track Mark 8設備還具有集成過程模擬軟件、SOP和配方管理系統以及預測性維護單元。最後，TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8機通過其全面的安全特性，幫助優化所有光刻膠工藝的精度和安全操作。這些特性包括壓敏玻璃晶片卡盤、安全旋轉門、互鎖以及許多其他安全特性。這些功能確保操作員的安全,並提供可靠性和性能。