二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250396 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是一款革命性的光刻設備，專為幹蝕刻應用而設計。該系統采用了一種新穎的工藝，與傳統的濕蝕刻工藝相比，具有兩倍以上的精度和極均勻性。TEL Clean Track Mark 8由一個兩室單元組成，該單元包含一個大氣壓處理室和一個專用的抗蝕劑清除室。使用位置和蝕刻裝載機將光刻膠自動放置在基板上，從而可以在蝕刻過程之前對蝕刻過程進行獨立的優化。該工藝室的真空水平低至0.1毫巴，並結合使用等離子體氣源和輸入氣源。等離子體氣源用於在蝕刻前對基板表面進行氮化處理，輸入氣源用於產生等離子體能量，用於與光刻劑反應並蝕刻基板。該工藝室的獨特設計具有專利的「直接驅動」功能，不需要該室的外部電源。這臺機器還設計用於減少蝕刻過程中產生的不需要的顆粒，確保清潔和均勻的蝕刻。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8還具有先進的耐化學不銹鋼材料室設計。這種設計消除了交叉汙染，並消除了室內材料的長期腐蝕。腔室具有獨特的密封性，以防止任何氣體或顆粒泄漏，確保蝕刻過程的性能。此外，室內溫度調節，確保一致的蝕刻結果。Clean Track Mark 8的控制工具具有高級圖形用戶界面（GUI）和易於遠程訪問的維護和分析功能。該資產允許對溫度、壓力、電流和氣體濃度等工藝參數進行監控。通過這些控制，可以對蝕刻參數進行過程追蹤和數據記錄，從而優化蝕刻過程。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8的設計考慮到安全和環境，包括還原釋放到大氣中的揮發性有機化合物（VOCs）。通過經濟的設計,該模型需要更少的能源並降低操作成本。總體而言,TEL Clean Track Mark 8是一款革命性的光刻設備,專門為幹蝕刻工藝設計,為用戶提供準確、一致的結果。該系統的先進設計使TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8成為那些希望改進其蝕刻工藝的人的可靠、經濟高效的選擇。