二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9266470 待售
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ID: 9266470
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
(1) Coater / (2) Developer system, 6"
Dual block
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一種光刻設備,設計用於半導體晶圓上的先進光刻操作。該系統旨在超越目前的生產能力標準,實現始終如一的高質量光刻操作。TEL Clean Track Mark 8具有先進的圖像捕獲功能,即使是最小和最復雜的光刻蒙版也能實現高分辨率成像。此單元旨在集成到現有的TEL系統中,以顯著減少周期時間和維護要求,降低成本並提高客戶價值。光刻機還配備了一個用於無與倫比的光刻成像的高度先進的鏡像工具,以及一個獲得專利的電動級資產,允許晶圓的精確和易於操作。該型號還配備了剛性框架設計,能夠快速更換零部件,以加快維護和維修。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8還提供了先進的軟件體系結構,能夠快速集成新技術,並具有最高的精確度和有效性。該設備是自動化的,並對光刻膠厚度和抗蝕層完整性進行連續監控,有助於保持一致的高分辨率成像,而不會影響速度或準確性。該系統還支持多種光刻膠以適應各種工藝要求,包括深紫外線、ArF浸泡和步進掃描。此外,該單元的高級設計允許高度的操作靈活性,允許用戶定制以適應各種生產規模和基材。創新的設計還確保了更新的工藝參數可以輕松集成到機器中,而不會降低性能。該工具支持各種功能塊的基座,具有專用內存和嵌入式32位處理器,以獲得最大的靈活性和性能。綜上所述,Clean Track Mark 8是一種先進的光刻膠資產,旨在超越和超越目前的生產能力標準,同時也實現了始終如一的高質量光刻操作。此模型提供了高度先進的鏡像設備、獲得專利的電動舞臺系統和自動化軟件體系結構,從而減少了周期時間和維護要求。此外,該單元支持靈活的定制設置,以適應各種生產規模和基材。這些特性加上堅固的結構和靈活性,使得TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8成為先進光刻操作的理想選擇。
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