二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269233 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8光抗蝕劑設備是半導體行業光刻的高效通用工具。它是一個全自動系統，設計精確沈積光刻在晶片上，以及去除不需要的光刻。其緊湊的設計和方便用戶的操作確保了最大的生產力和最小的浪費。TEL Clean Track Mark 8是一種溶劑基噴霧光刻裝置。該設備最初專為200毫米晶片設計,可提供高達6英寸晶片的高吞吐量。它在晶片加載、應用參數、可編程功能設置等方面具有高度的靈活性。其先進的化學輸送機提供均勻、大面積的覆蓋，而自動清洗模塊則提供卓越的殘留物清除能力。該工具有一個內置的熱噴霧模塊，可在基板上提供穩定和均勻的光刻膠塗層。它還包含一個自動晶圓夾緊資產，便於晶圓在平版印刷過程中的轉移。它的四個集成模塊提供均勻分配光致抗蝕劑，以及高效清洗、沖洗和收集分配的光致抗蝕劑。為保證高品質性能，TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8光刻膠型號配備了先進的光學檢測設備。該系統有助於在光致抗蝕劑施用前識別晶片上的缺陷或汙染，以及在工藝後檢測晶片上的非標準區域或缺陷。Clean Track Mark 8旨在為所有類型的光刻膠工藝提供經濟高效的解決方案。它也是高效的，減少浪費的時間和資源。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8以其人性化的操作、全面的功能集、優越的清潔模組，是取得高品質成果的無價工具。