二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269235 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是一款用於半導體器件制造的最先進的光刻設備。它是一個高度通用和可靠的系統,旨在支持廣泛的流程應用程序。該單元包括視覺機、全自動軌道、自旋漂洗烘幹機和潔凈室。視覺工具負責識別和識別晶圓和光掩模模式等特征,然後根據特定過程的要求將其用於匹配和對齊其他特征。視覺資產與數字成像模型集成，允許有效、精確的操作。TEL Clean Track Mark 8在清潔房間環境中自動處理晶圓、光掩模和其他材料。它配備了單一的厚膜軌道，允許統一和受控的開發過程。賽道還配備了高速自旋漂洗烘幹機，使批量優化和預測成為可能。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8的設計具有卓越的功能,例如快速的處理周期、元件的精確對齊以及100%的潔凈空間能力。此外，該設備還提供了先進的自動化維護系統，可實現真正的單層操作和快速設備設置。Clean Track Mark 8利用模塊化設計和現代自動化機器,將其集成到符合人體工程學的軌道中,從而以卓越的吞吐量實現最高的生產效率。TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是任何需要可靠、高性能和高效光敏（PR）工具的設施的理想解決方案。其集成的視覺資產、高速軌道和高效的自旋沖洗烘幹機提供了與最嚴格的要求和工藝序列相匹配的能力。此外，其優越的維護模式增加了設備的使用壽命，從而大大降低了總體擁有成本和對與維護相關的生產延誤的敏感性。