二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269249 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一種為了適應現代半導體製造商的需求而設計的光刻膠設備之一。該系統設計用於從晶片中沈積和剝離光致抗蝕劑，以最精確、最精確的方式創建復雜的圖樣。TEL Clean Track Mark 8使用電子束來暴露和不溶解光致抗蝕劑，以及化學灰化工藝來完成蝕刻過程。這個單元可以精確蝕刻線寬到0.35µm，以及作為倒角和圓角的線緣。該機具有自動化、可編程的抗蝕劑分配和清除功能,可確保光刻膠的精確沈積和剝離.為了保證均勻薄層的抗蝕劑，Clean Track Marks 8配備了自動傾斜間隔工具。此資產允許在直徑8英寸的晶片上分配和剝離可重復性和均勻性。作為TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8的一個獨特提供功能，氣體淋浴的存在有助於保持殘留物、顆粒和其他汙染物遠離晶圓表面。該模型還具有粒子密度控制設備，該設備旨在保持基板表面上微粒的最低水平。在系統內部，抗蝕劑分配機構由不銹鋼構成。這有助於避免抗蝕劑的積累，並防止磁性粒子幹擾暴露過程。總體而言,Clean Track Mark 8的設計最註重細節和可靠性。優越的真空臂和晶片夾緊設計的結合，加上自動傾斜間隔單元，創造了一個光刻機，為現代半導體制造需求提供了最先進、最可靠、精度最高的結果。