二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269254 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是一款為濕化學過程而設計的先進光致抗蝕劑設備。它由RobotCVision超高精度機器視覺系統和先進的真空壓力化學氣相沈積（VPCVD）工藝技術兩個主要部件組成。RobotCVision采用了超高精度和快速掃描技術,使其能夠精確控制光刻膠圖案尺寸、對準和間距。另一方面，利用VPCVD工藝在蝕刻過程中將薄膜沈積在晶圓表面。這兩個組件共同提供了溫和的處理和最小的汙染，從而在晶片上實現了高度精確和均勻的表面光潔度。TEL Clean Track Mark 8具有預編程功能,允許自動調整,從而優化沈積速度和蝕刻速度,確保一致的高質量結果,同時最大程度地減少設備停機時間。它還結合了熱管理技術，並允許自由形式的輪廓調整。晶片暴露在薄膜上，光刻膠以受控、均勻的方式施加，以確保精度。該機還具有雙烤盤功能，便於集中於工藝前和工藝後操作。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8工具是一種可靠而堅固的光刻膠處理解決方案。它為用戶提供了晶片處理的全面解決方案,並在所有晶片上提供了卓越的工藝一致性,即使在最高的長寬比下也是如此。該資產也是晶片蝕刻和薄膜沈積的一種經濟高效的選擇，確保了可重復和可靠的光刻工藝結果。RobotCVision和VPCVD技術都提供多級流程控制,以確保模型的性能一致且可接受。此外，先進的CleanTrackMark8設備控制算法能夠實現快速、平穩的配方轉換，從而實現過程魯棒性。