二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9314271 待售
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ID: 9314271
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
(2) Coater / (1) Developer system, 8"
Single block
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8是一款高度先進的光阻設備,旨在為用戶提供高精度的沈積和升空技術。這個最先進的系統利用先進的化學和光刻工藝來確保一貫的高質量的結果。在其核心,TEL Clean Track Mark 8由一個工藝室和重量單元組成,用於在基板上分配化學溶液,俗稱光致抗蝕劑。這種光致抗蝕劑被設計為對光敏感,並對某些波長產生反應,允許用戶有選擇地和精確地蝕刻圖樣到基板上。該工藝室包含多個可調組件,使用戶能夠選擇所需的沈積和升降參數,如化學濃度、曝光時間、烘烤溫度和升降時間。一旦化學沈積完成,光致抗蝕劑就暴露在指定波長的激光下,使其能夠在基板上蝕刻圖樣。通過使用工藝室的可調參數,用戶可以控制蝕刻深度和圖樣覆蓋區域。蝕刻過程完成後,光致抗蝕劑將通過提升過程除去,以顯示所需的圖樣。這一過程需要使用一個移動平臺,該平臺設計為包含兩個車廂-一個位於基板上方,另一個位於加工室上方。在升空過程中,第二個車廂與光刻膠接合並從基板上升起,露出下面所需的圖案。TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark 8憑借其可調參數提供了高度的精確度和靈活性。這臺先進的光刻機使用戶能夠輕松創建詳細的圖樣,為他們提供了創建精確結構的高效手段。
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