二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9372744 待售

TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8（CTM-8）是為生產半導體器件而設計的先進光刻設備。光致抗蝕劑是一種光敏材料，用於光刻工藝中的圖樣，有助於創建構成許多電子產品基礎的錯綜復雜的設計。CTM-8系統可以快速、精確地開發半導體芯片的批量生產和原型制造模式。CTM-8單元的工作原理是使用一種叫做Positive Resist SE 1455的光阻材料在基板上產生負浮雕。首先，基板塗上一層薄薄的抗蝕劑，然後通過遮罩暴露在紫外線下，在基板上形成圖樣化的圖像。CTM-8機器允許基板精確且可重復地暴露於紫外線，以確保精確的圖樣傳遞。該工具配備了自動處理和數據監控（APDM）軟件，可以改進對打印過程和模式可重復性的控制。光刻膠本身對線寬和邊緣放置精度都敏感，在開發過程中需要加熱，以確保適當的圖樣傳遞。CTM-8資產具有內置的耐熱加熱器和快門模型,可自動加熱抗熱劑以實現一致的蝕刻,並優化層的光學透明度。CTM-8設備還具有先進的真空系統和多級防腐蝕裝置，可提高圖樣傳遞精度，防止粉塵顆粒沈降在基板上，提高工藝重復性。最後,可以通過全面的用戶界面輕松校準和監控CTM-8機器。這使經驗豐富和經驗不足的用戶能夠快速控制工具的參數並確保所有擬議項目的準確結果。CTM-8具有先進的軟件和硬件功能，是快速高效生產高質量半導體器件的理想光刻資產。