二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9375656 待售
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ID: 9375656
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
System, 8"
SMC INR-244-110D Thermo controller
(3) SMC INR-244-112A Chillers
(5) SMC INR-244-113B Thermo controllers
SHINWA T&H-CPC-1-NL THC Unit
Wafer transfer robot
Process robot
(5) Ovens
(5) Coolers
(2) Coater units
DEV Unit
Adhesion unit
Board set
PC
Chemical tank
Mass flow control
AC Rack
(2) UPS
SMIF Module:
INTERNOVA INC ICLS-RTX
Main controller
Driver part
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8是為高級光刻應用而設計的光刻設備。該系統采用了一種稱為陽離子抗蝕劑的新型抗蝕劑技術，提供了高度的精度和精確度，具有無與倫比的監測、修剪和控制光刻工藝曝光的能力。該單元由四個主要組件組成：控制中心、晶圓曝光/處理單元、對準器和電源。控制中心允許用戶設置曝光參數，監控曝光水平，並控制對齊器的運動。用戶還可以與機器通信並修改曝光過程參數。晶圓曝光/處理單元包括一個可以在兩個方向上移動的石英表，以及一個允許用戶在不同溫度下運行不同基板和抵抗類型的腔室。該對齊器用於精確控制晶片的對準，並將每個晶片暴露在正確的激光束下，以達到所需的工藝結果。該工具還配備了先進的電源，以支持高精度、可重復曝光的應用。TEL Clean Track Mark 8包含許多高級功能。它配備了先進的過程控制資產,可提供一致且可重復的性能,並提高了過程的穩定性和準確性。該模型還能夠對工藝數據進行監測和分析，以改進光刻工藝，取得更好的效果。晶圓曝光/處理單元設計用於提高均勻性，可以容納多種基材和抗蝕劑。設備還配備了先進的圖形用戶界面，提供了方便的系統監控方式。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是先進半導體制造和微電子器件制造等應用的理想選擇。它通過利用陽離子抗蝕劑的特性提供超精確的光學控制，並提供精確的控制和重復性的曝光。Clean Track Mark 8通過為用戶提供可靠、高效的光刻過程監控和控制方法,確保了更高質量的結果,從而縮短了開發時間,加快了產品上市速度。
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