二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9395945 待售
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ID: 9395945
優質的: 1995
Coater / Developer system
COT
ARCCOT
(2) DEV
WEE
Missing parts:
AD ASSY Unit
UL200T-L1
Circulator
Main arm
C/S Unit bottom fan
(6) Fuses, 2 A
T&H CPB-2-M2, Cup temperature cooker body
WEE Driver ASSY
Surge Tank Controller
Inheritor PC
Spin motors
Spin drivers
I/D X-axis driver
I/D Y-axis driver
I/D Z-axis driver
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8是一款高度精確、自動化的光致抗蝕劑設備，設計用於在半導體和FPD生產過程中創建高質量的圖樣。光致抗蝕劑是一種光敏聚合物材料，用於在基板上形成圖樣。TEL Clean Track Mark 8專註於實現光刻膠極精確且可重復的圖案。它提供快速、可靠的曝光功能,以確保一致的準確性和高質量的模式。該系統具有堅固的控制單元，具有強大的信號處理和控制，以保證精確定位。它還配備了高度精確的光束掃描，使其能夠創造出重復性小於一納米的納米級圖案。TOKYO ELECTRON CLEan Track Mark 8的綜合運動控制機包括高分辨率線性編碼器、步進電機控制器、語音線圈電機控制器。這為各種應用程序提供了精確的運動控制。圖像分辨率高達13um （0.0005英寸）以滿足各種應用程序的要求。Clean Track Mark 8還結合了先進的場發射電子束，使透鏡像差最小化，並提供高度相幹、均勻的電子束。這種高分辨率電子束允許低能電子暴露和短寫時間。該工具還改進了汙染控制，最大限度地減少了環境變化對設備性能的影響。該資產旨在方便地集成到生產線中。用戶友好的Touch Panel LCD可以使用無線遙控器和基於手勢的命令操作。該模型還包括內置的生產率監控軟件，因此制造商可以輕松跟蹤過程進度，並對過程中的條件進行全面控制。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8提供更高的精度、更高的效率和更高的生產力。這種光敏設備的設計滿足了半導體和FPD生產線的需求，保證了高質量、高性能的效果。
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