二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #142532 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz
ID: 142532
晶圓大小: 6"
優質的: 1994
(1) coater / (2) developer system, 6", 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz是一款高性能的光刻膠設備,旨在最大限度地減少汙染,同時提供可靠快速的光刻膠制備。該系統采用基於軌道的清潔工藝,采用閉環方式裝卸樣品,並設有一個有助於保持環境清潔和不受汙染的高性能處理室。該裝置采用獨特的基於軌道的清潔結構,可提供無與倫比的防汙保護。這包括一個封閉的運輸軌道,防止顆粒釋放到機器的環境中,清潔房間地板和一個專門設計的過濾工具,以確保從軌道的入口到出口一側的空氣流動和清潔。室內采用不銹鋼鍍層和陰極電解塗層,為室內環境提供最佳清潔。腔壁塗有特殊的介電鏡塗層,以反射紅外輻射,確保光線的精確聚焦。該室還設有一套百葉窗和一個氣流撞擊裝置,以協助當地的清潔和汙染控制,以及多種安全功能,以防止事故或處理不當。該型號還擁有不同速度的高速軌道清潔工藝,可根據用戶的特定要求進行調整。這樣可以精確地控制各種樣品的清洗,無論大小.通過使用可調節的速度洗滌滾筒和氣流以確保無汙染的結果,進一步加強了軌道清潔過程。該設備的用戶友好軟件進一步得到加強,該軟件提供了對光刻膠沈積的實時監測、數據記錄和分析、自動配方生成、散焦和重復配方執行、樣品處理以及最終報告管理等功能。用戶界面直觀、易於使用,不需要進行廣泛的培訓以實現最佳使用。總體而言,TEL Clean Track Mark Vz提供了可靠、無汙染、高性能的光刻膠系統,非常適合各種應用。它基於軌道的清潔過程允許精確控制任何大小樣品的制備,其用戶友好的界面使得它即使對於新手用戶也很容易使用。
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