二手 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #293628523 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 293628523
晶圓大小: 4"
優質的: 1995
(2) Developer systems, 4"
(4) Hot plates, 4"/6"
(2) Cooling plates, 4"/6"
Chemical cabinet
Temperature control unit
Nozzle
AC Power box
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CLEAN Track Mark Vz Photoresist Equipment是半導體工業中為精密微加工和大批量生產而設計的光刻工藝解決方案。該系統將最先進的光致抗蝕劑與G3工藝控制相結合,實現了更高的工藝一致性和更高的可重復性,並降低了維護成本和浪費。單元的核心是應用模塊,其中包含兩個預先對齊的分配室。此配置可確保最小化分配的可變性,並支持異常統一和高分辨率的結果。這些腔室允許在溶劑之間快速切換,允許廣泛的工藝靈活性。溫度、流量和分配電壓補償的自動校準和同步有助於從批次到批次保持可重復的性能。該機還包括一個高級控制單元,即Mark Vz控制器。這款智能工具為用戶提供了一系列功能,如自動化流程控制、統計流程控制、照片對齊控制以及自動補償較低的配電率。板載軟件通過其高級功能識別功能進一步提高了性能,最大限度地減少了分配變化的影響,並確保了最小的停機時間。為了提高可重復性,該資產采用閉環冷卻模型設計,有四個熱獨立溫度傳感器。這樣可確保溫度精度在0.3°C以內,從而提供業界最高的可重復性級別。該設備還提供了一個自動掩碼更換解決方案,允許改進過程管理和高效的操作員設置。為了提高性能和準確性,系統還提供了額外的物理和電氣過程功能,從而可以更好地控制安全性、精度和吞吐量。總體而言,TEL Clean Track Mark Vz光阻裝置是一種針對半導體行業需求量身定制的高性能、低維護的光阻解決方案。通過將統一的分配、先進的過程控制和提高的可重復性和準確性相結合,此解決方案提供了無與倫比的性能、質量和成本效益級別。
還沒有評論